在真空環境中，將材料加熱并鍍到基片上的技術為真空蒸鍍。具體而言，真空蒸鍍是將待成膜的物質置于真空中進行蒸發或升華，使之在工件或基片表面析出的過程。真空蒸鍍中的鍍層通常為鋁膜，但其它鍍層也可通過蒸發沉積形成。然而，現有的鍍膜機結構較為復雜且成本較高，無法充分適應工業化生產的需求，不利于降低鍍膜產品的成本。
提供一種手套箱蒸鍍一體機，本系統由真空鍍膜系統和手套箱系統集成而成，可在高真空蒸鍍腔室中完成薄膜蒸鍍，并在手套箱高純惰性氣體氛圍下進行樣品的存放、制備以及蒸鍍后樣品的檢測。
蒸發鍍膜與手套箱組合，實現蒸鍍、封裝、測試等工藝全封閉制作，使整個薄膜生長和器件制備過程高度集成在一個完整的可控環境氛圍的系統中，消除有機大面積電路制備過程中大氣環境中不穩定因素影響，保障了高性能、大面積有機光電器件和電路的制備。
有益效果是：生產效率高、有利于降低鍍膜產品的成本。
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