CCZK-HT 超硬質工具鍍膜機
特征描述：
馳誠CCZK-HT多弧離子鍍（工具鍍膜）是在真空蒸發鍍和濺射鍍膜的基礎上發展起來的一種鍍膜技術，將各種氣體放電方式引入到氣相沉積領域，整個氣相沉積過程都是在等離子體中進行的。
1、全SUS304優質不銹鋼機身，隱藏式雙層冷卻水套設計
2、合理配備多套全新研制的離子弧源，配備弧源過濾系統，有效保障弧源濺射的致密性與均勻性
3、爐體加溫和冷卻技術，使鍍膜溫度可達到550攝氏度的同時伴以優秀的爐體冷卻能力
4、裝載大功率脈沖偏壓電源，極大提高電粒子能量，從而獲得優秀的膜層結合力和光潔度
5、采用馳誠創新工藝制造，精益求精，全面通過歐盟CE和ISO質量管理體系認證；
技術配置
CCZK-SF磁控濺射鍍膜設備
腔體結構:立式前開門，后置真空獲得系統
材質用料:腔體采用優質SUS304不銹鋼材質
離子弧源:依據設備大小不同配備多套弧電源系統
偏壓電源:配備大功率單級脈沖偏壓電源
多弧靶材:標配多套鈦靶或不銹鋼靶材
轉動系統:變頻調速，公自轉結合，可采用上傳動或下傳動方式
真空系統:分子泵+羅茨泵+直聯泵（進口）+維持泵+可選深冷泵
氣體控制:多路氣體質量流量控制系統
加熱系統:超硬質工具鍍膜550℃溫控PID可調可控。
智能控制:PLC智能控制+HMI全彩人機觸控界面，實現邏輯全自動控制
報警及保護:異常情況進行報警，并執行相應保護措施。
報警及保護:異常情況進行報警，并執行相應保護措施。
其他技術參數：
極限真空:5.0×10-4Pa
抽氣速率:5.0*10-2≤5min
水壓流速≥0.2Mpa 3m3/h；水溫≤25℃；氣壓：0.4-0.8Mpa
備注：
一般規格：
Φ1000mm*H1200mm，Φ900mm*H1000mm
真空室尺寸或設備配置可按客戶產品及特殊工藝要求訂做
應用
1、利用馳誠CCZK-HT離子鍍設備(工具鍍膜）可以在金屬，玻璃，陶瓷等材料表面進行鍍膜。
2、超硬質工具鍍膜設備可應用于鉆頭，絲錐，高速刀片，耐磨軸承，切削刀具，等功能鍍膜，可以大大提高產品使用壽命和使用效率
3、常用膜系包括TiN、ZrN、TiAlN、TiC、TiCN、CrN、Al2O3等 更多應用請咨詢馳誠工程師
