一、虛漏:
虛漏是由于設(shè)計或制造加工工藝不當(dāng),在真空鍍膜設(shè)備內(nèi)形成貯存氣源的洞穴,這些氣體在真空環(huán)境下慢慢釋放出來,形同漏氣,簡稱虛漏。
例如,真空鍍膜設(shè)備內(nèi)的緊固螺釘沒有出氣孔,焊縫交叉設(shè)計,焊接不完善留有孔穴等都會造成虛漏現(xiàn)象。
二、漏孔:
漏孔是真空鍍膜設(shè)備內(nèi)的電真空器件中直徑微米數(shù)量級的小漏孔,空氣中的塵埃或液體都很容易造成漏孔的堵塞,這些就算你當(dāng)時修理好了也是暫時性的,檢漏時好像不漏,但經(jīng)過抽氣之后,又會出現(xiàn)漏氣。
所以為了檢查,一定要仔細處理好檢漏部位,盡量不用手去摸被檢測區(qū)域,避免塵埃或油脂堵塞漏孔。