真空高溫軸承在臥式蒸發真空鍍膜機方面的應用
真空鍍膜機主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜,具體包括很多種類,包括真空離子蒸發,磁控濺射,MBE分子束外延,PLD激光濺射沉積等很多種。主要思路是分成蒸發和濺射兩種。
我們詳細介紹真空軸承在蒸發式真空鍍膜機上的應用,蒸發鍍膜一般是加熱靶材使表面組分以原子團或離子形式被蒸發出來。并且沉降在基片表面,通過成膜過程(散點-島狀結構-迷走結構-層狀生長)形成薄膜。 對于濺射類鍍膜,可以簡單理解為利用電子或高能激光轟擊靶材,并使表面組分以原子團或離子形式被濺射出來,并且最終沉積在基片表面,經歷成膜過程,最終形成薄膜。
軸承安裝部位如圖片所示管軸的兩端,內部數十個類似的安裝單元。由于機體內溫度較高,普通軸承難以承受數百攝氏度高溫真空工作環境,油脂潤滑、石墨潤滑的軸承產品在高溫真空環境內運轉過程中會帶來油脂和石墨粉塵的污染,同時軸承短時間報廢,導致產品的生產不合格。
我司所設計此款高溫軸承,結合實際工作環境,采用高溫自潤滑的工作方式;通過長期驗證達到了壽命長,免維護,潔凈度高,不會帶來污染,由此保證該機的正常運轉。產品安裝更換簡單,大大的提高了機器的運轉時間和效率,減少了機器維護保養得次數和保養成本。
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