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真空鍍膜設(shè)備 真空鍍膜機(jī)冷凝泵的工作原理

作者:溫州馳誠(chéng)真空機(jī)械有限公司  來(lái)源:http://www.tedazn.com  更新時(shí)間:2015-11-19 9:58:47  點(diǎn)擊次數(shù):

真空鍍膜設(shè)備 真空鍍膜機(jī)冷凝泵的工作原理

  真空鍍膜設(shè)備 真空鍍膜機(jī)主要是低溫表面對(duì)氣體的冷凝作用、冷捕作用及物理低溫吸附作用。 
  低溫冷凝:根據(jù)各種氣體的特性,采用液氦或者制冷循環(huán)氦氣來(lái)冷卻。 
  冷捕集:就是不可凝氣體被可凝氣體捕集的現(xiàn)象,通常二氧化碳、水蒸氣、氮?dú)狻簹獾葰怏w首先形成霜,于低溫表面形成吸附層,進(jìn)而達(dá)到吸附其它氣體的目的,低溫泵抽除混合氣體的效果比抽除單一效果好就是這個(gè)原因。 
  低溫吸附:指低溫表面上的吸附劑吸附氣體的作用,由于吸附劑與氣體分子之間的相互作用很強(qiáng),故可達(dá)到氣相壓強(qiáng)比冷凝表面溫度下它的飽和蒸汽壓還低的水平。吸附劑通常是活性炭。 
  冷凝泵的抽氣速率及影響 冷凝泵的抽氣速率與冷凝表面的面積大小有關(guān)系,經(jīng)數(shù)據(jù)顯示,單位冷凝表面積下的抽氣速率為11.6升/秒.平方厘米,冷凝泵可以抽到10-8帕;此外粘有活性炭的吸附表面的幾何形狀及位置、活性炭的顆粒結(jié)構(gòu)、粘結(jié)材料及粘接工藝,對(duì)抽速也有很大的影響。其次關(guān)鍵在于制冷機(jī)的制冷量要足夠大。 
  真空計(jì):真空計(jì)是真空鍍膜機(jī)器上的重要組成部分,它是檢測(cè)鍍膜機(jī)真空度的重要手段。真空計(jì)根據(jù)其工作原理可以分為絕對(duì)真空計(jì)和相對(duì)真空計(jì),絕對(duì)真空計(jì)可以直接測(cè)量壓強(qiáng)的高低,相對(duì)真空計(jì)只能間接測(cè)量真空度。 
  本文重點(diǎn)介紹鍍膜機(jī)器上面常用到的以下幾個(gè)真空計(jì): 
  電阻真空計(jì)(又叫皮喇尼真空計(jì)): 
  它主要由電熱絲、外殼和支架構(gòu)成,主要是根據(jù)在低壓下,氣體的熱傳導(dǎo)系數(shù)與壓強(qiáng)成正比的方式工作的。上面開口處與被測(cè)真空系統(tǒng)相連接,熱絲采用電阻溫度系數(shù)大的金屬絲做成,兩支支架引線與測(cè)量線路連接。當(dāng)壓強(qiáng)降低的時(shí)候,由于氣體熱傳導(dǎo)散失的熱量減小,因此當(dāng)熱絲加熱電流穩(wěn)定時(shí)候,則熱絲溫度就上升,熱絲的電阻就增大,用測(cè)量熱絲電阻值的大小來(lái)間接測(cè)量壓強(qiáng),有以下關(guān)系: 
  略 這就是電阻真空計(jì)的工作原理,此真空計(jì)的測(cè)量范圍是:100-10-1帕之間,目前采用的型號(hào)是WP-02 
  磁控放電真空計(jì): 
  工作原理:在放電開始時(shí),由于空間游離電子向陽(yáng)極運(yùn)動(dòng)時(shí),在正交電磁場(chǎng)作用下,電子的軌跡不是直線而是螺旋線前進(jìn),又因?yàn)殛?yáng)極是框形,故電子不一定第一次就碰上陽(yáng)極,而是穿過(guò)陽(yáng)極,然后受到對(duì)面陰極的拒斥,又復(fù)返回。這樣反復(fù)多次才可能打上陽(yáng)極。由于電子路程大大加長(zhǎng),故碰撞及電離的分子數(shù)增加,使得在較低壓強(qiáng)(10-4帕以下)仍維持放電(也稱潘寧放電)。
目前比較多的型號(hào)有PKR251、GI-PARY 
  放電管真空計(jì):在玻璃管中封入兩個(gè)金屬電極,在其上加上數(shù)千伏的直流高電壓,在一定的壓強(qiáng)范圍內(nèi)(1*10-3~2*10托)內(nèi)就能引起自持放電,通過(guò)放電顏色來(lái)判定其真空度 
  目前為止此種真空計(jì)已經(jīng)很少使用,因?yàn)槠湔`差大,容易損壞,而且壽命不長(zhǎng)。 
  真空鍍膜設(shè)備 真空鍍膜機(jī)
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