1、氧化物
一氧化硅SiO、二氧化硅SiO2、二氧化鈦TiO2、二氧化鋯ZrO2、二氧化鉿HfO2、一氧化鈦TiO、五氧化三鈦Ti3O5、五氧化二鈮Nb2O5、五氧化二鉭Ta2O5、氧化釔Y2O3、氧化鋅ZnO等高純氧化物鍍膜材料。
2、氟化物
氟化釹NbF3、氟化鋇BaF2、氟化鈰CeF3、氟化鎂MgF2、氟化鑭LaF3、氟化釔YF3、氟化鐿YbF3、氟化鉺ErF3等高純氟化物。
3、其它化合物
硫化鋅ZnS、硒化鋅ZnSe、氮化鈦TiN、碳化硅SiC、鈦酸鑭LaTiO3、鈦酸鋇BaTiO3、鈦酸鍶SrTiO3、鈦酸鐠PrTiO3、硫化鎘CdS等真空鍍膜材料。
4、金屬鍍膜材料
高純鋁Al、高純銅Cu、高純鈦Ti、高純硅Si、高純金Au、高純銀Ag、高純銦In、高純鎂Mg、高純鋅Zn、高純鉑Pt、高純鍺Ge、高純鎳Ni、高純金Au、金鍺合金AuGe、金鎳合金AuNi、鎳鉻合金NiCr、鈦鋁合金TiAl、銅銦鎵合金CuInGa、銅銦鎵硒合金CuInGaSe、鋅鋁合金ZnAl、鋁硅合金AlSi等金屬鍍膜材料。
以上就是真空鍍膜機最常見的真空鍍膜材料，需要注意的是在真空鍍膜機中每種材料使用的真空鍍膜機類型也是不一樣的。
