PVD真空鍍膜設備蒸發系統主要指成膜裝置部分,PVD鍍膜機的成膜裝置很多,PVD鍍膜有電阻加熱、射頻濺射、離子鍍等多種方式。
下面介紹PVD鍍膜電阻加熱和電子槍蒸發的方式:
PVD鍍膜電阻蒸發根據其結構和工作原理是目前為止應用最多,PVD鍍膜最廣泛的蒸發方式,PVD鍍膜也是應用時間最長的蒸發方式。
PVD鍍膜的工作方式是:
PVD鍍膜將鎢片做成船狀,然后安裝在兩個電極中間,再熱傳導給PVD鍍膜材料,當鎢舟的熱量高于PVD鍍膜材料熔點的時候,材料就升華或者蒸發了,PVD鍍膜由于操作方便,結構簡單,成本低廉。PVD鍍膜電子槍蒸發是到目前為止應用最多的一種蒸發方式,PVD鍍膜可以蒸發任何一種PVD鍍膜料。
將鍍膜材料放在坩堝里面,PVD鍍膜將蒸發源制作成燈絲形狀,PVD鍍膜由于燈絲的材料是鎢,形成了一股電子束,PVD鍍膜由于電子束溫度非常高,PVD鍍膜可以熔化任何鍍膜藥材凝結下來。
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關鍵詞:真空鍍膜設備
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